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[问答题,简答题] 什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？
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[问答题,简答题] 什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
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[问答题,简答题] 例举双大马士革金属化过程的10个步骤。
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[问答题,简答题] 解释什么是暗场掩模板。
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[问答题,简答题] 例出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。
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[问答题,简答题] 在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么？
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[问答题,简答题] 例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。
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[问答题,简答题] 描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。
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[问答题,简答题] 例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
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[问答题,简答题] 解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
