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[问答题,简答题] 解释扫描投影光刻机是怎样工作的?扫描投影光刻机努力解决什么问题?

写出下列继电器所接的方向电源:(1)D1FKJ();D15ZJ()(2)D13FKJ();D7ZJ() 列车运行图中红单线表示()运行线。 ["旅客列车","行包专列","军用列车","救援列车"] 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处? 活塞杆填料函安装在气缸底板中心孔中,具有()的作用。Ⅰ.密封扫气空气;Ⅱ.密封燃气;Ⅲ.除油污;Ⅳ.除积炭;Ⅴ.分隔。 ["A.Ⅰ+Ⅱ+Ⅴ","B.Ⅰ+Ⅴ","C.Ⅱ+Ⅴ","D.Ⅰ+Ⅲ+Ⅴ"] 了解脊椎动物、尾索动物、头索动物形态结构上的异同点。 解释扫描投影光刻机是怎样工作的?扫描投影光刻机努力解决什么问题?
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