问题：
[问答题,简答题] 例举离子注入设备的5个主要子系统。
问题：
[问答题,简答题] 离子源的目的是什么？最常用的离子源是什么？
问题：
[问答题,简答题] 解释离子束扩展和空间电荷中和。
问题：
[填空题] 一般X射线大致具有的性质（），荧光作用，电离作用，穿透能力强，X射线的折射率近似等于1，衍射作用。
问题：
[填空题] 氧和碳在硅晶体中都呈（）分布。
问题：
[填空题] 自然界存在的水（江水，河水，湖水）称为（）。
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[填空题] 目前国内外导电类型测量有两种（），整流效应法。
问题：
[填空题] （）是半导体单晶重要电学参数之一，它反映了补偿后的杂质浓度，与半导体中的载流子浓度有直接关系。
问题：
[填空题] 四探针法测试，C的大小取决于四探针的（）和针距。
问题：
[填空题] 非平衡载流子的寿命ζ，就是反映（）的参数。
