问题：
[问答题,简答题] 简述两步扩散的含义与目的？
问题：
[问答题,简答题] 扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
问题：
[问答题,简答题] 简述离子注入工艺中退火的主要作用？
问题：
[问答题,简答题] 简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
问题：
[问答题,简答题] 简述干氧氧化与湿氧氧化各自的特点，通常用哪种工艺制备较厚的二氧化硅层？
问题：
[问答题,简答题] 与普通溅射法相比，磁控溅射的特点是什么？
问题：
[问答题,简答题] 说明APCVDLPCVDPECVD各自的含义及特点。
