● 摘要
光纤F-P压力传感器作为未来大气数据系统压力测量单元的良好选择，有着广阔的市场应用前景。本文通过对国内外研究现状的分析调查，运用MEMS技术制作光纤F-P压力传感器，采用单晶硅、玻璃、插芯和光纤四元素来进行设计，其中单晶硅和玻璃用于制作法珀腔，插芯和光纤用于固定和保护法珀腔。重点研究了受感芯体的设计及制造工艺，明确了运用真空阳极键合工艺进行硅片与玻璃的连接，确定了受感芯体的切片工艺。针对传感器制造完成后测试数据采集数据量大、采集时间长和工作强度高等特点，设计了自动测试系统，不仅减轻了工作强度，还提高了工作效率。对制作完成的传感器进行了性能测试，就测量结果的偏差进行了理论分析和试验验证，为传感器工程化应用的后续改进方向进行了分析。为光纤F-P压力传感器在实际操作、工艺性和经济性等方面工程化应用奠定了基础。