[判断题] 电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。

在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。 正确。 错误。 【从订单自动转成采购单】可选项的抛转类别有（）？ 正确。 错误。 简略试验既无列检作业又无运转车长的，由（）负责。 正确。 错误。 注射机工程注射量 正确。 错误。 反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。 正确。 错误。 电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。