● 摘要
由于谐振式压力传感器具有比一般压力传感器高1～2个数量级的精度，因此，在各类高精度的气压高度测量如飞行大气参数测量、各种中、远程导弹、巡航弹飞行控制、气象台站天气预报、校验用压力传递基准器、高精度地面压力校验设备等，都大量使用谐振式压力传感器。振动筒压力传感器是上世纪60年代末期，由英国最先研制成功的谐振式压力传感器，并率先在军用航空大气飞行参数测量方面得到应用。由太原航空仪表有限公司研制、生产的系列型号的振动筒压力传感器始于上世纪70年代，自80年代中后期开始进入批量生产，随着技术的日益成熟，产品90年代开始大批量装备部队。随着小型化、数字化、智能化传感器的发展，传统的振动筒压力传感器体积大、耐环境能力弱的缺点，已经限制其更广泛的应用。要适应未来战机隐形、矢量控制以实现大迎角大机动飞行的要求，随着数字电传控制向光传控制系统发展以及数据信息综合与融合处理的计算机飞行管理系统日益发展，急切要求各种机载传感器必须在小(微)型化、数字化、智能化、通讯接口标准化方面先行完成预先研究与产业化工作。因此，高精度的压力传感器小型化研制工作迫在眉睫。本论文课题就是在这种需求的背景下提出的。其主要内容是：小型化振动筒压力传感器研制的基本理论模型建立；输入—输出计算、分析；传感器的整体设计；敏感元件的加工；性能稳定处理；特性数据计算及分析等方面，并给出了传感器的特性测试数据。由于工作开展的比较早，所研制的产品目前已经处于设计定型阶段。