题目：大量程小型压阻式压差传感器的研制

导弹伺服系统用压差传感器要适应飞行过程及贮存过程中的高温（低温）、强振动、强冲击的环境要求，同时也要具有小型化、可靠性高、精度高等特点。在查阅大量资料后，对比了各种不同工作原理的压差传感器的优缺点，认为硅压阻式压差传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和批量生产，使用方便等特点，满足伺服系统使用需求。论文对硅压阻式压差传感器的总体方案进行了设计，完成了敏感芯片的设计和传感器机械结构设计，在分析了硅压阻敏感芯片的性能后，确定了对硅压阻敏感芯片供电方案、硅压阻敏感芯片与壳体的焊接方法及压差传感器的放大、补偿电路设计方案。考虑到传感器体积很小，因此在设计时，首先是对油路进行改造，通过在焊接体上打孔的方法，将垂直油路改为横向油路，减小了压差传感器的高度；同时，采用贴片电阻代替金属膜电阻，使电路板空间利用率增大，也减小了压差传感器的高度。传感器要求测量压力范围是25MPa，因此在设计时，采用电子束焊的方法将敏感芯片与焊接体焊接在一起。为了满足压差传感器高精度、宽温阈的要求，在设计时采用热敏电阻进行温度补偿，使压差传感器满足使用要求。经过大量试验数据的论证，证明设计的硅压阻式压差传感器达到了预期的设计要求，其线性度≤0.35％F.S，测量范围为±25MPa，可以在-40℃～125℃下稳定可靠的工作，满足伺服系统使用，其性能在同类小型化压差传感器中处于领先地位。通过研制，生产了一套带温度补偿的大量程小型硅压阻式压差传感器，该压差传感器满足导弹伺服系统要求的小型化、稳定性高等要求，能够精确测量伺服作动器两腔压差、伺服阀入口压力，并参与动压反馈，可以满足导弹伺服系统使用需求。