[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。

发现可疑爆炸物，应在不触动可疑物的前提下，通过（）识别。 正确。 错误。 步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。 正确。 错误。 遥信，即（），它是将采集到的被监控发电厂或变电所的设备状态信号，按规约传送给调度中心。 正确。 错误。 【从订单自动转成采购单】时，供应商可以选择（）？ 正确。 错误。 没有CMP，就不可能生产甚大规模集成电路芯片。 正确。 错误。 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。