[判断题] 步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。

曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。 正确。 错误。 电工所用的导线可分成电磁线和（）两大类。 正确。 错误。 光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是，光刻胶只对特定波长的光线敏感，例如深紫外线和白光，而对黄光不敏感。 正确。 错误。 对学生的“惩戒”，一定要做到以下几点（）。 正确。 错误。 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。 正确。 错误。 步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。