离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。 正确。 错误。
注塑成型最重要的工艺参数是（）（）和（）等； 正确。 错误。
发电车执乘人员以外的允许登乘发电车的人员进入发电车时，一律实行登记，注明进出发电车目的、单位、姓名（）。 正确。 错误。
常用的检错码有奇偶校验码、方阵码、（）、循环码。 正确。 错误。
热扩散中的横向扩散通常是纵向结深的75%~85%。先进的MOS电路不希望发生横向扩散，因为它会导致沟道长度的减小，影响器件的集成度和性能。 正确。 错误。
离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格，高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除，掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。
