[判断题] 离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。

异步通信的优点是设备简单，易于实现，（），费用低。 正确。 错误。 发电车要实行定置管理，要配备必要的工具（）。 正确。 错误。 创新的核心是创造，创造性离不开（）的保护和激励。 正确。 错误。 发电车执乘人员以外的允许登乘发电车的人员进入发电车时，一律实行登记，注明进出发电车目的、单位、姓名（）。 正确。 错误。 收购贷款资格认定程序包括（）。 正确。 错误。 离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。