问题：
[填空题] 外延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、（）、固相外延等。
问题：
[填空题] 离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。
问题：
[填空题] 半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的（）。
问题：
[填空题] 白光照射二氧化硅时，不同的厚度有不同的（）。
问题：
[填空题] 在半导体工艺中，硫酸常用于去除（）和配制（）等。
问题：
[填空题] 化学清洗中是利用硝酸的强（）和强（）将吸附在硅片表面的杂质除去。
问题：
[填空题] 用肉眼或显微镜可观察二氧化硅的以下质量：颜色（）、结构（）；表面无（）、无（）、不发花；表面无裂纹、（）。
问题：
[填空题] 腐蚀V形槽一般采用（）的湿法化学腐蚀方法。
问题：
[填空题] 光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
问题：
[填空题] 工艺人员完成工艺操作后要认真、及时填写工艺记录，做到记录内容详细、（）、（）、书写工整、（）。
