[问答题,论述题] 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

在使用地阻仪测试地阻时，接地桩与备测地线之间的距离至少为：（） ["0－5米","5－10米","10－15米","15－20米"] 透射电镜超薄切片常用（）和（）染色，电镜照片上呈黑或深灰色的结构称（），呈浅灰色的结构称（）。 水平极化的电磁波（） ["能发生全透射","不能发生全透射","以上都不可能","以上都有可能"] 什么是事件顺序记录（SOE）？ 单方过失碰撞责任 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？