[多选] 工业机器人由（）组成

气举阀中的重要部件是（）。 A、旁通套筒。 B、波纹管。 C、充气腔室。 D、单流阀。 工业机器人按坐标形式分类，有（） 圆柱坐标系。 直角坐标系。 极坐标系。 球坐标系。 关节坐标系。 在其它条件相同时，有倾角的地层埋藏越（），偏移距离就越大. 深；。 浅.。 零件光整加工的通常方法有（）、研磨、超精加工及（）等方法。 两盘地层倾向相对的正断层叫（）. 尾脊断层；。 反屋脊断层.。 工业机器人由（）组成