[问答题] 化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？

成本库按成本计算对象建立。 中龄林 我们要不断实现好、维护好、发展好（）根本利益，使发展成果更多更公平惠及全体人民，在经济社会不断发展的基础上，朝着共同富裕方向稳步前进。 ["无产阶级","工人阶级","最广大人民","职工群众"] 异龄林 加快居民身份证办理程序是怎样的？ 化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？