[问答题,简答题] 给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。

硅片关键尺寸测量的主要工具是什么？ 在灌浆过程中因故中断时，应如何处理？ 当压力低于4.8bar时，（）施加信号指示灯亮，司机必须停车等待救援。 柴油机进行横向校中只适用于（）柴油机。 ["筒状活塞式","十字头式","中、高速","小型"] 当紧急制动不能缓解列车压力低于7BAR时，可以使用两端A车的（）缓解紧急制动。 给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。