问题:
[问答题] 现在国际上批量生产IC所用的最小线宽大致是多少,是何家企业生产?请举出三个以上在这种工艺中所采用的新技术(与亚微米工艺相比)?
问题:
[问答题] 集成电路制造工艺中,主要有哪两种隔离工艺?目前的主流深亚微米隔离工艺是哪种器件隔离工艺,为什么?
问题:
[问答题] 在集成电路制造工艺中,轻掺杂漏(LDD)注入工艺是如何减少结和沟道区间的电场,从而防止热载流子的产生?
问题:
[问答题] 解释为什么目前CMOS工艺中常采用多晶硅栅工艺,而不采用铝栅工艺?
问题:
[问答题] 什么是离子注入时的沟道效应?列举出三种控制沟道效应的方法?