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[问答题,简答题] 离子注入后为什么要退火？
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[问答题,简答题] APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
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[问答题,简答题] 气体直流辉光放电分为哪几个区？其中辉光放电区包括哪几个区？溅射区域选择在哪个区？
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[问答题,简答题] 热蒸发制备薄膜的过程有哪些？
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[问答题,简答题] 简述台阶覆盖与接触孔口。
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[问答题,简答题] 什么是CVD中的气缺现象？解决气缺现象的措施？
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[问答题,简答题] 显影时，正胶和负胶的哪个区发生溶解？而哪个区则不会溶解。
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[问答题,简答题] 根据成像结果的不同，光刻胶可分为哪两种类型，其中哪种成本较低且应用较早？
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[问答题,简答题] 什么是负性光刻？正性光刻？
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[问答题,简答题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
