题目：扫描电镜增配聚焦离子束纳米加工系统

摘 要聚焦离子束－电子束双束纳米加工系统，具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新一代微纳米分析和微纳米加工手段，在微纳米加工、微纳米操纵、微纳米器件的研制等方面具有重要应用。随着半导体工艺和集成电路工业的发展和人类对微观世界认识的不断深入，纳米科技逐渐成为目前科技的前沿。而该纳米双束系统是在整合了扫描电子显微镜在微纳米级观察、成像、分析的的功能，及其聚焦离子束系统作为微纳米级加工、操控工具的优势的基础上，将二者巧妙结合组装而成的新型微纳米仪器，它的研制成功将极大的促进我国纳米科技的发展和相关行业的进步。本文首先介绍了扫描电子显微镜、聚焦离子束及其双束系统的内部结构和工作原理，叙述了聚焦离子束的主要功能及应用，探讨了该系统的扩展功能，阐述了该系统多领域的应用及其发展前景。其次，本文系统讲述了扫描电镜增配聚焦离子束纳米加工系统的方案设计与规划，设备的二维、三维软件模拟及加工成型，装配过程中的技术需求与技术难点，双束系统调试与使用阶段所做的工作及取得的部分成果，并对下一步工作做了规划和设计：包括X射线能谱在该双束系统上的安装与调试，气体注入系统引导化学沉积增强双束系统性能的可行性实验的考察与设计。最后，作者根据实际操作经验制定了《双束系统安全使用操作手册》。