题目：基于PLC及组态的透射电镜控制系统研究与实现

随着现代科学技术的发展，对于物质微观形态研究的需求也在不断提高，上世纪三十年代电子显微镜的发明大大增强了显微镜的分辨本领，提供了探索微观世界有力的工具。经过八十余年的不断发展，电子显微镜已经成为了科学研究中广泛使用的重要工具。

目前，我国在电子显微镜尤其是透射电子显微镜的研究和制造方面还相对薄弱，并未形成完整的研制体系。为了摆脱长期依靠进口的现状，开展透射电子显微镜的自主研制工作具有着重要的意义。

本文通过对正在研制的TDX-200F1场发射枪透射电镜结构的研究分析，参考TDX-200透射电镜的控制方法，采用更为完善的基于PLC自动化控制网络及组态软件建立了TDX-200F1透射电镜的监控系统。

按照信息层、控制层、设备层三层自动化网络，构建透射电镜整体控制网络；根据真空系统结构与具体要求，实现了对真空系统的自动控制；以电子光学为基础，对磁透镜结构及电磁场进行分析，完成了电子束偏转的控制并矫正误差；对透射电镜曝光机理及流程进行分析，完成了观察记录系统的控制；从仪器本身和用户使用的角度进行功能分析，建立了基于组态软件的上位机监控系统。

通过上述研究过程，分析了TDX-200F1透射电镜各部分组成结构的功能及控制方法，实现了TDX-200F1透射电镜主要功能的自动控制，仪器运行良好，推动了项目进展，对今后透射电镜控制技术及方式的发展有一定的借鉴意义。