题目：B掺杂FePt基纳米复合膜的制备与性能研究

L10型FePt由于具有高的磁各向异性，极有可能成为下一代超高密度磁记录材料，因而受到广泛关注。对于FePt合金材料特别是纳米复合薄膜的研究已成为近几年本领域的研究热点。本文实验利用磁控溅射的方法制备了一系列FePt多层膜样品，溅射态的样品进行真空退火处理后，利用振动样品磁强计（VSM）等手段对样品的性能进行了测试表征，根据VSM结果确定了制备FePt多层膜样品的最佳FePt配比。FePt配比确定后，将厚度可控的B层掺杂到FePt多层膜样品中，制备了一系列FePtB多层膜体系，首先，采用中间层掺杂和底层掺杂等不同掺杂方式的组合来制备B掺杂样品以研究退火后FePtB多层膜体系磁学性能的变化以及内部成相的情况；其次，还将厚度不同的B层作为中间层掺杂到FePt多层膜样品中构成不同B掺杂浓度的多层膜样品。退火后，通过X射线衍射（XRD）、振动样品磁强计等表征手段研究不同的掺杂浓度对FePt多层膜样品成相及退火温度的影响。实验发现，掺杂B层后的FePt多层膜样品的矫顽力较未掺杂样品有了很大程度的提高，并且内部出现了垂直方向的择优取向。不同厚度的B层掺杂到FePt多层膜样品中后，随着掺杂层厚度在一定范围内的增加，FePtB多层膜样品的有序化相变愈加充分，样品内FePt晶粒的尺寸也得到了有效控制。当B层为14nm时，FePtB多层膜体系展现了良好的垂直取向特性。此外，B掺杂对于FePt多层膜样品的退火温度有一定的降低作用。