题目：微镜式螺旋光路陀螺的设计与研究

微光机电陀螺是以光学原理和技术（如Sagnac效应）为基础，综合利用微制造技术、微机电技术、微光学技术等，是光机电一体的、微型化、集成化的惯性测量器件。微光机电惯性器件具有体积小、重量轻、可靠性好等优点，是惯性器件技术研究的新方向。本文在充分调研国内外微光机电陀螺的基础上，提出一种干涉型的微镜式空间螺旋光路陀螺设计，它具有小尺寸、重量轻的优势。该陀螺的空间螺旋光路部分由微加工工艺制造的微反射镜构成，是一个闭合的回路，两束光在回路内相向传播。本文分析了空间螺旋光路敏感Sagnac效应的原理；分析了微镜式空间螺旋光路陀螺的基本探测极限，以及多边空间螺旋光路陀螺的光路参数的影响，提出空间光路设计思路和方法；经过对现有国内外加工工艺条件的调研，论证了空间螺旋光路微镜加工的可行性；并对空间螺旋光路陀螺的微镜加工误差的影响作了讨论。基于微弱信号的相干检测原理，设计了微镜式空间螺旋光路陀螺的检测电路；通过对相干检测理论的分析，采用图形化的编程语言LabVIEW编写了数据采集软件，设计出一套基于SR844 DSP Lock-in-Amplifier(锁相放大器)的开环光学陀螺测试系统。通过原理验证实验验证了空间螺旋光路的Sagnac效应，原理验证实验系统的零漂为8. 16 º/h。本课题研究内容为微镜式陀螺的研究提供了有力的参考。