题目：10GHz长波长PIN高速光电探测器研究

长波长光纤通信系统，因其具有低损耗、低色散特性而能进行长距离、大容量光信号传输。高速光电探测器将接收到的高速光信号转换成电信号供接收电路和设备使用，InGaAs/InP高速光电探测器作为高速光纤通信系统中光电转换的核心部件越来越得到重视和发展，在实际应用中，光中继容量和长度是由探测器件在系统的传输带宽和码率下所能检测的最小光信号功率所决定的，为了满足高速长距离光纤通信系统的使用，对InGaAs/InP高速光电探测器的带宽性能、噪声特性、灵敏度、响应速度等提出了更高的要求。目前尽管APD高速光电探测器、波导型PIN光电探测器、MSM光电探测器和RCE光电探测器产品技术得到了很好的研究和发展，但是传统的PIN结构高速光电探测器以其可商业化批量生产性和应用的平面半导体工艺技术成熟性得到了广泛的发展和应用。 论文将应用作者在化合物光电子器件领域长期研究和生产过程中积累的经验，通过精心的高速探测器芯片结构和工艺设计及制作，以提高管芯的响应速度和噪声特性；合理的高频封装结构和工艺设计，使高速探测器管芯与封装管壳之间有良好的阻抗匹配，减小由于封装导致的分布电容和电感效应对器件响应速度的影响，提高器件的高频响应带宽；优化的同轴光耦合结构设计以提高针对小入光面的耦合效率，提高整个器件的响应度和接收灵敏度。课题将研制出可实用化的10GHz带宽高速光电探测器产品，该产品能广泛应用于高速光纤通信系统、高速光纤延迟线、宽带光电测试仪器及测试系统等领域。