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问题：

[名词解释] 触腕穗

颚舟片解释离子束扩展和空间电荷中和。离子源的目的是什么？最常用的离子源是什么？例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。齿式触腕穗

参考答案：

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