题目：谐振式微加速度计测试系统

MEMS传感器体积小、低能耗、低成本、高稳定性的特点使其成为传感器研究的一个新兴领域，而基于谐振原理的微机械传感器直接输出准数字信号的特点，又使它成为MEMS传感器的发展方向。论文针对谐振式微机械加速度计，构建了一套测试系统，主要完成加速度计产品输出信号的高精度检测及数据传输与数据后台存储。目前还未发现其它针对谐振式微加速度计的测试系统的相关报道，论文所述工作是一次新的尝试。整套系统以TI TMS320VC5509A为处理核心，以FDC-519为前端频率测试单元。基于提高测试效率、防止测频通道间干扰耦合的综合考虑，将处理器与测频单元封装成设备模块，利用USB总线支持分层多设备的特性，设计出一种新型可扩充可裁剪的分布式结构。论文分析了谐振式微加速度计的敏感原理，在此基础上得出测频精度要求，而后介绍了一种新型高精度连续测频方法，此方法无传统方法存在的被测信号的 误差，精度较传统方法有大幅提升，论文对该方法进行了详细的误差分析。同时围绕模块化结构的这一重点内容，论述了系统硬件及软件（驱动程序及应用程序）所做的特殊处理，包括USB设备枚举，驱动程序对多设备的支持及应用程序对多设备的操作等内容。经过测试，样机系统测频精度至少可达10-6量级，基本达到设计要求。