[问答题,论述题] 简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。

货物包装不良 上行通道增益采用开环功率校准计算的方法，即根据RRUEEPROM的离线数据计算上行通道的增益并补偿，使上行通道固定增益达到期望值（）。 营分证是怎样形成的？ 初步证据 火力发电厂主要以（）作为工质。 ["空气","燃气","烟气","水蒸气"] 简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。