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题目:碱金属气室镀膜质量检测技术研究

关键词:碱金属气室,镀膜质量,受抑全反射

  摘要



碱金属气室是原子陀螺仪、原子磁强计等原子自旋器件的核心敏感表头,其内壁镀膜可提高碱金属气室的抗弛豫性能,从而提高原子自旋器件的灵敏度,因此镀膜的质量在一定程度上决定了原子自旋器件性能。本文以碱金属气室镀膜质量为研究对象,围绕镀膜质量检测技术开展了相关的研究,具体研究工作如下:

1、结合碱金属气室镀膜的特点及要求进行了需求分析,得出基本的研究方向及思路,对碱金属气室镀膜质量检测的总体研究方案进行了设计和分析。

2、对受抑全反射的原理进行了深入研究,提出了一种基于受抑全反射的膜厚测量方法,对原理性公式进行了推导,最后通过Matlab仿真对该方法的理论测量精度以及各种器件非理想化对测量精度的影响进行了分析。

3、对镀膜质量检测系统的构建方案进行了总体设计,基于此分别完成了系统中的电路、光路和终端子系统的设计与实现,并对整个镀膜质量检测系统进行了集成,最终实现了对膜厚信号的采集、传输、处理、分析和结果显示等功能。
    4、基于构建的镀膜质量检测系统,分别对电路、光路和终端子系统进行了测试,并对整套系统进行了联调测试;利用该系统对镀膜样品膜厚进行了采样测量,并与薄膜分析仪的测量结果进行了对比,该系统的膜厚测量精度可达纳米量级,且结构简单,操作方便,成本也低;最后根据测量数据对镀膜的平整度、均匀性等质量参数进行了分析。

利用本系统不仅可以对平面镀膜样品质量进行分析,为碱金属气室镀膜技术和膜层抗弛豫机理的研究提供依据,而且可以实现对常用的方形碱金属气室的镀膜质量检测。