[填空题] 最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。

关于压力监测作用描述不正确的为（）。 ["指导找油找气；","及时预报，采取措施；","实现平衡钻进，优化设计；","进行沉积相分析。"] 并行式、逐次逼近式、双积分式A/D转换器有什么优缺点？ 热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。 离心泵停泵前，应先关闭（）（循环泵除外）。 ["入口阀","出口阀","连通阀","排污阀"] 远动设备安装后，通电前的检查包括哪几部分？ 最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。