● 摘要
随着太阳能行业的蓬勃发展，在国内出现了大量的硅片生产厂家，制造硅片的工艺设备在生产中会产生大量的热量，需要冷却水系统来降低温度，使之满足工艺生产的要求。因此，工艺冷却水系统是否能达到工艺设备对水温的要求就至关重要了，直接关系到产出硅片的良品率及生产的安全性。本课题主要从工艺冷却水系统的稳定性及安全性出发，结合太阳能硅片生产厂的实际情况，设计了一套工艺冷却水温度控制系统，对进行现场调试及问题解决。本论文认真研究了冷却水温度控制系统的基本组成、功能及发展现状，并根据生产用工艺设备的需求确定了冷却水温度控制系统总体方案，进行了系统的硬件部分集成，为整个系统控制提供了硬件平台。同时为实际运行过程中的节能和环保做好基础准备。论文完成了工艺冷却水温度监控中重要参数：水温的测量和控制。着重介绍了工艺冷却水整体系统的设计，包括冷却设备及换热设备的选型、控制部分软、硬件设计，以及水温控制系统最终测试结果。以温度参数为例，对冷却水温度控制系统进行了分析和设计，使得温度控制结果满足预先设计要求。本文最后的结果证明系统完全实现了预期所要达到的功能。