● 摘要
近年来，太阳选择性吸收涂层的研制成为太阳能光热转换的关键技术之一，而如何提高太阳选择性吸收涂层在实际应用中的光学性能和热稳定性是该领域的关键问题。本课题采用直流、射频磁控溅射镀膜技术在不锈钢基片上制备了W- Al2O3多层复合膜，该复合膜从基底以上共溅射四层，包括红外反射层：W金属层；干涉吸收层（双层）：W- Al2O3不同体积分数金属陶瓷层；减反射层：Al2O3陶瓷层。通过XRD, SEM, EDX和光谱分析等测试手段对各膜层进行了分析，其结果表明：在相同的制备工艺条件下，随着复合膜中各单层的递增，涂层的整体光谱吸收率逐渐增强。对制备的各单层膜和多层复合膜分别进行了不同温度的真空退火处理，测试发现在500℃退火温度以内，W- Al2O3多层复合膜的吸收率随退火温度的升高而增大，其吸收率最大值为0.87。导致涂层吸收率随退火条件的不同而发生变化的主要原因在于随着退火温度的逐渐升高，各膜层表面结晶状况明显改善，杂质元素也相应减少，有利于该金属复合涂层吸收率的提高。