题目：硅微谐振式压力传感器性能测试系统及实验研究

本文以硅微谐振式压力传感器的全面性能评估为目标，基于硅微谐振式压力传感器敏感元件的输入输出特性，设计实现了硅微谐振式压力传感器的性能测试系统，该性能测试系统具有对谐振频率、Q值、灵敏度、重复性、线性度、温漂、时漂、基本误差等性能参数进行测试、查询和统计分析的功能。 1、根据硅微谐振式压力传感器的特性，并结合实际研发和生产的需要，制定了详细的性能测试分析的方案。方案把对传感器的测试工作流程设定为：建立传感器档案、进行测试、存储结果、封真空、再进行测试、存储结果、统计分析等几个过程。在进行测试的环节内，具体的测试内容包括初步测试、灵敏度测试、重复性测试、长期稳定性测试、温度漂移测试和闭环测试。 2、搭建了硅微谐振式压力传感器的性能测试系统，为传感器全面的性能分析提供了硬件平台。性能测试系统由硅微谐振式传感器特性测试仪、PPC3-700K压力校准仪、GDS-50L 高低温箱和PC机4部分有机的组成。 3、基于性能测试方案和性能测试系统的硬件结构，设计了具体的测试分析流程，包括PC机的流程和硅微谐振式传感器特性测试仪的流程，完成了性能测试系统的软件设计，实现了测试分析过程的自动控制和测试数据的获取、处理、存储、查询以及测试结果的统计分析等功能，为全面评估传感器的性能提供了完备的测试手段。 4、基于本文的性能测试系统，对传感器敏感元件的热特性进行了实验研究。得出了环境温度和热功率都会对敏感元件的性能产生影响，热功率的影响大于环境温度的影响，可以通过降低激励电压、减小梁的长度、增加梁的厚度和宽度的方式来降低热功率影响。