● 摘要
随着科技的发展，尖端产品和现代化武器对表面的光滑程度要求越来越高，超光滑表面的应用越来越广，对超光滑表面的需求也越来越迫切。适应这种需求，国内外学者大量的投入到超光滑表面的研究，派生了很多分支，主要包括超光滑表面加工方法研究、超光滑表面检测方法研究、超光滑表面完整性研究等。本课题就是有针对性地通过大量的实测数据来进一步研究超光滑表面的各种特性。通过对以设定的加工参数得到的超光滑表面工件的各项指标的检测，本文进行了以下几个方面的研究：1.超光滑表面完整性测量，针对超光滑表面完整性参数，选择最为主要的六个对其进行了测量。其中对粗糙度的测量使用了四种测试设备，便于对同一参数不同仪器进行比较。2.超光滑表面检测理论及结果分析，对目前出现的各种超光滑表面测量仪器进行了分析对比，并通过实测结果说明了不同的表面形貌要选择相应的测量仪器，并对其产生差异的原因进行了剖析。3.超光滑表面完整性研究，针对目前完整性的参数众多，选取了几个重要的参数对其进行了细致的研究，总结出它们对超光滑表面的影响。4.超光滑表面加工工艺研究，针对浮法抛光抛光液酸碱度这一参数进行了研究，总结了酸碱度对超光滑表面各项指标的影响。5.超光滑表面谱分析，利用HHT变换对粗糙度表面进行了谱分析，通过三维图形看出HHT对表面的加工工艺参数的一一对应性。6.微纳米表面测量分析系统，针对测量数据以及测量仪器的繁杂，结合HHT谱分析设计了本系统，利于对实验分析结果有更为直观的了解。