问题：
[单选] 下列哪种说法不符合绿色制造的的思想（）。
对生态环境无害。资源利用率高，能源消耗低。为企业创造利润。
大批大量生产方式。品种单一、中等批量生产方式。多品种、变批量生产方式。
问题：
[单选] 在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。
光学显微镜。扫描隧道显微镜。原子力显微镜。
①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗。①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散。①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原。
问题：
[单选] 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
电子束曝光技术。离子束曝光技术。X射线曝光技术。
问题：
[单选] 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；。体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；。体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；。
问题：
[单选] 工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。
气压传动机器人。液压传动机器人。电器传动机器人。智能机器人。
问题：
[单选] 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
离子束刻蚀、激光刻蚀。干法刻蚀、湿法刻蚀。溅射加工、直写加工。
问题：
[单选] 衡量机器人技术水平的主要指标是（）。
自由度。工作空间。提取重力。运动速度。
