题目：超光滑表面质量分析与工艺实验研究

随着科技的发展，尖端产品和现代化武器对超光滑表面质量要求越来越高，为适应这种需求，国内外学者大量的投入到超光滑表面的研究中，派生了很多分支，主要包括超光滑表面加工方法研究、超光滑表面检测方法研究、超光滑表面完整性研究等。本课题就是有针对性地通过大量的实验数据来进一步研究超光滑表面质量的各种特性，为提高超光滑表面质量，更好地发展超光滑表面加工技术奠定基础。本文主要进行了以下几个方面的研究：1.超光滑表面成形理论分析。分析工件表面材料均匀去除的条件；从运动轨迹方程出发，获得了工件表面各点相对运动轨迹长度相等的条件,从而为研磨抛光工艺实验提供了参考。2.超光滑表面质量各参数的测量。针对超光滑表面质量参数，选择最为主要的四个对其进行了测量。其中对粗糙度的测量使用了三种测量设备，便于对同一参数不同仪器测量结果进行比较。3.超光滑表面测量原理及结果分析。着重分析了粗糙度、残余应力、硬度三个参数的测量原理和结果分析。对于粗糙度，主要分析了触针式轮廓仪、NT1100表面轮廓仪、和原子力显微镜（AFM）三种常用于检测超光滑表面微观形貌的测量仪器，剖析了仪器的测量原理，性能，空间分辨率，取样面积和使用范围；利用三种仪器对不同材料的超光滑表面加工试件进行了测量，提出了引起测量结果不同的若干因素。4.超光滑表面研磨抛光工艺实验分析。首先分析了抛光液颗粒及酸碱度对试件表面质量的影响，其次对影响微晶玻璃超光滑表面粗糙度和平面度的因素进行了大量的实验研究，在单因素实验中，得到了不同的参数对表面粗糙度和平面度的影响规律。通过正交实验分析得到了最优的工艺参数组合，经过进一步的实验表明，表面粗糙度和平面度值明显下降，试件的表面质量得到一定的提高。