[多选] 湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。

A . 化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B . 反应溶液及去离子水需花费较高成本
C . 光刻胶会产生附着性问题
D . 蚀刻不均匀

影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。等离子体蚀刻系统的形态。等离子体蚀刻的参数。光刻胶。待蚀刻薄膜的淀积参数条件。新制或大修后的接触网作业车单机紧急制动距离不大于（），制动距离误差不得超过10%。 300m。 500m。 400m。阐述序时平均数和静态平均数的异同？干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。离子、电子。中性原子。分子。自由基。时期数列和时点数列特点？湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。

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