[问答题,简答题] 例举在线参数测试的4个主要子系统。

例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）运行于枢纽内各站之间，并进行摘挂作业的列车是（）。 ["摘挂列车","市郊列车","枢纽小运转列车","区段小运转列车"] 固结灌浆在相互串浆时应如何处理？运行于两技术站之间，中间站不进行摘挂作业的列车是（）。 ["直通列车","区段列车","摘挂列车","小运转列车"] 制动单元机闸瓦内侧最薄处低于（）时必须更换。例举在线参数测试的4个主要子系统。

参考答案：

在线参数测试的4个主要子系统为：
（1）探针卡接口：是自动测试仪与待测器件之间的接口。
（2）硅片定位：为测试硅片，首先要确与探针接触的硅片的探针仪位置。
（3）测试仪器：高级集成电路需要能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和微法级电容的自动测试设备，它控制测试过程
（4）作为网络主机或客户机的计算机：指导测试系统操作的计算机包括测试软件算法、自动测试设备、用于硅片定位的探查控制软件、测试数据的保存和控制、系统校准和故障诊断。