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题目:Cr2O3涂层对低红外发射率薄膜的光谱改性研究

关键词:可将光/红外兼容,Cr2O3,多弧磁控溅射,光谱改性

  摘要

隐身材料是隐身技术的关键,具有独特光谱特性的材料将在隐身技术、节能技术领域发挥巨大的作用。Cr2O3是一种墨绿色颜料,Cr以及Cr2O3已经广泛应用于太阳能选择吸收涂层和薄膜、光谱选择吸收膜、变色材料的研究中,是一种尤其重要的可见光迷彩涂料。现在,隐身材料的研究已经越来越注重材料的多频段兼容特性,本文主要针对Cr2O3涂层对低发射率薄膜的光谱改性工作进行研究,主要内容为: 设计基底/金属/Cr2O3的薄膜结构,利用金属降低薄膜整体的红外发射率,利用Cr2O3层薄膜实现可见光迷彩。实验首先以铝箔为基底和金属层,制备了Al/Cr2O3薄膜,验证了Cr2O3薄膜可以通过控制厚度实现不同的色彩,然后以PET为基底,采用多弧磁控溅射制备了PET/Cr/Cr2O3薄膜,并研究了镀膜时间以及溅射压强对薄膜性能的影响。实验表明:PET/Cr/Cr2O3薄膜具有丰富的色彩,在可见光区有明显的反射峰,且反射峰位置随薄膜厚度的增加由短波向长波移动,溅射压强对薄膜可见光特性影响不大,薄膜具有较好的导电性,薄膜平均方块电阻最小可达11.34Ω/□,且随着Cr2O3薄膜厚度的增加而不断变大,样品的平均红外发射率最小0.371,最大0.583,随镀膜时间以及工作压强的变化不大,主要取决于金属层。通过进一步工艺优化以及材料选择,有望制备出良好的红外可见光兼容隐身薄膜和彩色节能膜。