[填空题] 制氧机除要达到的产品产量及纯度外，还有（）（）（）（）（）（）指标。

空分装置爆炸的原因一般有：液空和液氧中（）等杂质积聚和（）引起爆炸。 进入上塔的允许膨胀量主要与上、下塔取出的（）及上塔液体的（）有关，产品纯度低（）。 低压流程以卡皮查循环（）为依据。全低压流程因为（）等诸多优点，被广泛推广和应用。 液空调节阀的作用是（）。 氧取出量越大，氩馏分（）。 制氧机除要达到的产品产量及纯度外，还有（）（）（）（）（）（）指标。