[问答题,简答题] 哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。

写出XD至4G接车进路中选岔网络有关继电器动作规律。 叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。 MANB&W型柴油机活塞杆填料函工作环的平面间隙和环端间隙超过规定值的（）时，应当换新。 ["A．10%","B．30%","C．50%","D．80%"] FKJ的作用是（）和（）。 定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？ 哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。