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问题:

[问答题] 什么是MEMS?它主要包括哪几个部分?并简述各个部分的功能。

农业农村部农情调度数据显示,截至6月17日17时,全国()已收获面积30041万亩,收获进度近九成,今年夏粮丰收已成定局。 ["水稻","小麦","玉米","高粱"] 红外线气体分析器气室若被弄脏或表面被污染,应采用()方法进行清洗。 ["无水乙醇清洗","机械方法清洗","钢丝球清洗","绸布擦洗"] 8个月女婴,频繁抽搐,高热4天,脑脊液检查:压力升高,外观微混,细胞数1200×IO9/L,中性粒细胞70%,淋巴细胞30%,糖2.2mmol/L,氯化物lOOmmol/L,该患儿诊断为脑膜炎,首选治疗方案是() ["雷米封+链霉素","头孢三嗪","二性霉素B","青霉素+庆大霉素","青霉素+氨苄青霉素"] 青海省财政下达资金7亿元支持()生态保护和建设二期工程,主要用于()黑土滩治理、有害生物防控、湿地保护、沙漠化土地防治等项目。 ["松花江","三江源","河套地区","雄安新区"] 运用移植法解决问题时应注意() ["掌握其学科领域的发展情况","打破收敛式保守思维的限制","在研究中大胆引进和移植已有的或新产生的概念、原理、方法和技术","绝不打破别人建立的理论"] 什么是MEMS?它主要包括哪几个部分?并简述各个部分的功能。
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