题目：先进双极型功率器件制造的关键技术研究

本课题是对13007系列高压双极型功率器件的制造工艺做了研究，分析了目前主要的几种制造高压双极型功率器件的工艺技术。研究后发现，传统工艺下制造的芯片有着合格率较低的问题，主要是器件的一些关键参数不合格的结果，包括反向击穿电压低，反向漏电流大，值不均匀，以及饱和压降大。针对以上问题，对每道工序进行分析后，找到了影响这些参数的关键工序有基区扩散、表面钝化以及背面金属化。接下来提出运用新的工艺：硼乳胶源基区扩散、PI-SiO2双层介质表面钝化和Ti-Ni-Ag多层介质背面金属化来替代或改进传统工艺：BN平面片状源扩散、单一介质表面钝化和单一介质背面金属化。本文主要针对了前两个方面进行了研究。除了从理论上分析了新工艺相比于传统工艺的优势之外，为了验证新工艺在实际运用当中的可行性，还进行了大量的实验。将这些新的工艺运用于13007系列的高压双极型功率器件中，并解决了新工艺在运用过程中的关键技术问题。最后通过对实验结果和数据的分析，证实相比于传统工艺，采用新的工艺后的13007功率器件有着耐压高，反向漏电流小，小电流高，饱和压降低的特点。