问题：
[填空题] 镀膜膜层厚度监控方法有（）和（）两种。
问题：
[填空题] 产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。
问题：
[填空题] 目前GENER机的透亮工艺其烘烤温度是（）。
问题：
[填空题] 目前规定的防污板更换周期为（）罩。更换防污板空镀时要镀（）。
问题：
[填空题] 测量真空的器械称为（）。一般分为电离规真空计和（）两种。
问题：
[填空题] 修正板有R记号的是（）（填枪1或枪2）修正板。
问题：
[填空题] 烘烤时间在原有基础上加长半小时，中心波长会（）（填偏长或偏短）。
问题：
[填空题] 光源灯使用寿命一般为：（）小时。
