问题：
[填空题] SIN840C控制系统由数控单元主体、（）和进给伺服单元组成。
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[填空题] SIN840C控制系统数控单元的基本配置包括数显部分、主机框架、驱动装置及（）。
问题：
[填空题] 典型工业控制系统是由（）和（）部分组成。
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[填空题] 由被控对象变送器和执行机构组成典型工业控制系统的（）部分。
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[填空题] 工业控制系统的硬件由计算机基本系统和（）系统组成。
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[填空题] 机床数据、PLC程序及加工工序可在（）的硬盘上备份。
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[填空题] 气动换向阀按阀芯结构不同大致可分（）和滑阀两大类。
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[填空题] 根据液压控制阀在系统中的作用不同，可分为压力控制阀、（）、流量控制阀三类。
问题：
[填空题] 液压系统中，顺序阀属于（）控制阀。
