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[问答题,简答题] 例举并描述热生长SiO2–Si系统中的电荷有哪些?

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[问答题,简答题] 立式炉系统的五部分是什么?例举并简单描述?

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[问答题,简答题] 什么是薄膜?例举并描述可接受的薄膜的8个特性。

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[问答题,简答题] 例举并描述薄膜生长的三个阶段。

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[名词解释] 互连

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[名词解释] 接触

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[名词解释] 通孔

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[名词解释] 填充薄膜

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[问答题,简答题] 例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

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[问答题,简答题] 解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。